Радиоволновая и инфракрасная диагностика материалов, сред и объектов

Основным научным направлением деятельности является создание новых методов и технических средств широкоформатной физико-технической диагностики функциональных материалов электроники, технологических сред в различных производствах, включая агропромышленность и биотехнологии.

Научная школа основана в 1970 г. доктором физико-математических наук, профессором, академиком Международной академии прикладной радиоэлектроники, Заслуженным деятелем науки и техники Украины Юрием Емельяновичем Гордиенко.

Известные представители научной школы: доктора наук Н.И. Слипченко, В.В. Старостенко, В.Л. Костенко, В.П. Оксанич, А.Ю. Панченко и другие.

Доминирующие научные концепции базируются на теоретическом и экспериментальном изучении особенностей взаимодействия электромагнитных колебаний и волн СВЧ и ИК диапазонов с объектами исследования или технического контроля.

Актуальность проведенных научных исследований связана с созданием новых высокоэффективных безэлектродных методов и приборов неразрушающего многопараметрового контроля полупроводниковых материалов и пленочных структур для разработки и производства полупроводниковых приборов и интегральных схем различного назначения. По результатам соответствующих исследований созданы также новейшие датчики различных физических величин, таких как содержание влаги в объекте и среде, степень спонтанной или стимулированной кристаллизации материалов, бесконтактной толщинометрии различных пленок и т.д.

Из нововведений, разработанных в рамках деятельности школы, следует отметить обоснование и внедрение в практику СВЧ-диагностики апертурных резонаторных измерительных преобразователей, на основе которых построен широкий спектр датчиков и приборов неразрушающего контроля материалов.

Наиболее привлекательной для современности является разработка теории и техники сканирующей микроволновой микроскопии на базе резонаторных зондов с коаксиальной микроапертурой.

cохранить эту страницу в PDF